鈦鋁合金靶材---鈦鋁(Titanium Aluminide)是金屬間化合物;它有三種形態(tài);加瑪鈦鋁,阿路法2-Ti3Al和TiAl3.其中加瑪鈦鋁令人感興趣,也已得到實際應(yīng)用。加瑪鈦鋁具有優(yōu)越的機械性能;密度低;只有4.0g/cm3;溫度超過600度攝氏時的抗氧化和抗腐蝕能力仍很強。可代替?zhèn)鹘y(tǒng)的以鎳為基的高溫合金;加瑪鈦鋁已用來制造波音787和波音747-8飛機的低壓渦輪槳片.

鈦鋁合金靶材70:30at% 主要用做裝飾鍍膜 和工具鍍膜上面

當鈦含量減少鋁含量相對增加時就只能通過粉末冶金的方法來生產(chǎn)才能達到靶材的要求

鈦鋁合金在真空鍍膜行業(yè)也應(yīng)用較廣,可以做成一定比例的合金靶材,作磁控濺射鍍膜的原材料。在做真空鍍膜靶材時鈦鋁合金有多種成分比例,常用的有鈦鋁原子比(at%):90:10、80:20、70:30、50:50、30:70、20:80、10:90
-/gbaffjj/-
http://m.sxytzl.cn