產(chǎn)地廣東
品牌鼎偉新材料
貨號(hào)陶瓷靶材
品名氮化物靶材
純度99.9%
電學(xué)特性
GaN的電學(xué)特性是影響器件的主要因素。未有意摻雜的GaN在各種情況下都呈n型,的樣品的電子濃度約為4×1016/cm3。一般情況下所制備的P型樣品,都是高補(bǔ)償?shù)摹?br/>很多研究小組都從事過(guò)這方面的研究工作,其中中村報(bào)道了GaN遷移率數(shù)據(jù)在室溫和液氮溫度別為μn=600cm2/v·s和μn= 1500cm2/v·s,相應(yīng)的載流子濃度為n=4×1016/cm3和n=8×1015/cm3。近年報(bào)道的MOCVD沉積GaN層的電子濃度數(shù)值為4 ×1016/cm3、<1016/cm3;等離子激活MBE的結(jié)果為8×103/cm3、<1017/cm3。
未摻雜載流子濃度可控制在1014~1020/cm3范圍。另外,通過(guò)P型摻雜工藝和Mg的低能電子束輻照或熱退火處理,已能將摻雜濃度控制在1011~1020/cm3范圍。
GaN在1050℃開(kāi)始分解:2GaN(s)=2Ga(g)+N2(g)。X射線衍射已經(jīng)指出GaN晶體屬纖維鋅礦晶格類型的六方晶系。
在氮?dú)饣蚝庵挟?dāng)溫度為1000℃時(shí)GaN會(huì)慢慢揮發(fā),GaN在較高的溫度下是穩(wěn)定的,在1130℃時(shí)它的蒸氣壓比從焓和熵計(jì)算得到的數(shù)值低,這是由于有多聚體分子(GaN)x的存在。
GaN不被冷水或熱水,稀的或濃的鹽酸、硝酸和硫酸,或是冷的40%HF所分解。在冷的濃堿中也是穩(wěn)定的,但在加熱的情況下能溶于堿中
因?yàn)镚aN是寬禁帶半導(dǎo)體,極性太大,則較難以通過(guò)高摻雜來(lái)獲得較好的金屬-半導(dǎo)體的歐姆接觸,這是GaN器件制造中的一個(gè)難題,故GaN器件性能的好壞往往與歐姆接觸的制作結(jié)果有關(guān)。現(xiàn)在比較好的一種解決辦法就是采用異質(zhì)結(jié),首先讓禁帶寬度逐漸過(guò)渡到較小一些,然后再采用高摻雜來(lái)實(shí)現(xiàn)歐姆接觸,但這種工藝較復(fù)雜。總之,歐姆接觸是GaN器件制造中需要很好解決的一個(gè)主要問(wèn)題。
氮化硅用做耐火材料,如與sic結(jié)合作SI3N4-SIC耐火材料用于高爐爐身等部位;如與BN結(jié)合作SI3N4-BN材料,用于水平連鑄分離環(huán)。SI3N4-BN系水平連鑄分離環(huán)是一種細(xì)結(jié)構(gòu)陶瓷材料,結(jié)構(gòu)均勻,具有高的機(jī)械強(qiáng)度。耐熱沖擊性好,又不會(huì)被鋼液濕潤(rùn),符合連鑄的工藝要求
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